[发明专利]基于悬臂梁挠度的光纤光栅加速度计无效
| 申请号： | 200710065322.4 | 申请日： | 2007-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN101285846A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 张文涛;李芳;刘育梁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01P15/00 | 分类号： | G01P15/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及光纤传感器技术领域，公开了一种基于悬臂梁挠度的光纤光栅加速度计，该光纤光栅加速度计包括：作为该光纤光栅加速度计支撑结构的外壳1，具有第一侧壁m、第二侧壁n、第三侧壁p和第四侧壁q；用于测量加速度的光纤光栅2，该光纤光栅2的一端与质量块5固定连接，另一端平行于第一侧壁m穿过所述光纤光栅加速度计第二侧壁n上的孔6并延伸至所述光纤光栅加速度计的外部；一端水平固定于所述光纤光栅加速度计第三侧壁p上的悬臂梁3，用于将振动信号传递给光纤光栅2；固定于所述悬臂梁3另一端的质量块5，用于调整光纤光栅加速度计的灵敏度和自振频率。本发明提高了光纤光栅加速度计的灵敏度，改进了光纤光栅加速度计的封装工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 悬臂梁 挠度 光纤 光栅 加速度计 | ||
【主权项】：
1、 一种基于悬臂梁挠度的光纤光栅加速度计，其特征在于，该光纤光栅加速度计包括：作为该光纤光栅加速度计支撑结构的外壳(1)，具有第一侧壁(m)、第二侧壁(n)、第三侧壁(p)和第四侧壁(q)；用于测量加速度的光纤光栅(2)，该光纤光栅(2)的一端与质量块(5)固定连接，另一端平行于第一侧壁(m)穿过所述光纤光栅加速度计第二侧壁(n)上的孔(6)并延伸至所述光纤光栅加速度计的外部；一端水平固定于所述光纤光栅加速度计第三侧壁(p)上的悬臂梁(3)，用于将振动信号传递给光纤光栅(2)；固定于所述悬臂梁(3)另一端的质量块(5)，用于调整光纤光栅加速度计的灵敏度和自振频率。
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