[发明专利]一种压电扫描器高速扫描方式无效
| 申请号： | 200710065552.0 | 申请日： | 2007-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101060059A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王丽娜;韩立;李敏;林云生 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;G12B21/20;G01N13/10 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 关玲;李新华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种压电扫描器高速扫描方式，对压电扫描器快轴的驱动采用高速，无畸变点的正弦波。在采样系统中，采用由位移确定采样点的方式，在快轴的运动方向上设置位移传感器，用于精确计量扫描器实际走过的距离。可以实现在不改变现有压电扫描器基本结构的基础上，提高扫描质量和扫描速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 扫描器 高速 扫描 方式 | ||
【主权项】：
1、一种压电扫描器高速扫描方式，其特征是采用正弦波对压电扫描器快轴驱动；由位移决定采样点，采用在压电扫描器快轴的运动方向上设置的位移传感器精确计量扫描器实际走过的距离，并将快轴方向移动的位移量传递给控制系统，控制系统根据所制定的采样点间的步长，每当压电扫描器在快轴方向运动过一个步长时，控制系统即下达采样命令。
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