[发明专利]内调制型铁电非制冷红外焦平面探测器无效
| 申请号： | 200710066481.6 | 申请日： | 2007-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101201271A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 邓芳轶;吴新社;蔡毅;王红斌;王锐 | 申请（专利权）人： | 云南民族大学 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;H01L27/16;H01L23/38;H01L21/82;H01L21/50 |
| 代理公司： | 昆明正原专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈左 |
| 地址： | 650031云南省*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 一种内调制型铁电非制冷红外焦平面探测器，由铁电列阵1、量子阱调制器2、读出电路3和半导体热电恒温器4组成，各部分都为平面结构，通过粘接和互连工艺集成为一个整体；本发明减少了电极数量，增大了器件的填充因子，有利于缩小探测元间距；减少了光能损失，提高了器件的归一化探测率，有利于提高器件作用距离的热灵敏度；器件帧频由原来的热学结构控制变成人为控制，大大提高了器件的帧频，有利于器件在高帧频情况下的应用；去掉了器件的热隔离微桥结构，简化了制作工艺；增加了器件的调制功能，省去了外部的斩波器，降低了整机开发难度。 | ||
| 搜索关键词： | 调制 型铁电非 制冷 红外 平面 探测器 | ||
【主权项】：
1.一种内调制型铁电非制冷红外焦平面探测器，包括铁电列阵(1)、量子阱调制器(2)、读出电路(3)和半导体热电恒温器(4)，其特征在于：最上面为铁电列阵(1)，其次是量子阱调制器(2)，再次为读出电路(3)，最底层为半导体热电恒温器(4)，各部分都为平面结构，通过叠加粘接和互连方式集成为探测器芯片。
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