[发明专利]一种热绝缘微桥结构及其加工方法有效
| 申请号： | 200710067914.X | 申请日： | 2007-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN101249935A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 姜利军;罗雯雯 | 申请（专利权）人： | 浙江大立科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 | 代理人： | 徐关寿 |
| 地址： | 310053*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种热绝缘微桥结构及其加工方法，属于微机电系统技术领域。包括微桥主体10、衬底13以及悬臂梁11、12，微桥主体10通过悬臂梁悬于衬底13之上，并形成空隙14，本发明通过在悬臂梁上制造皱褶结构，可在不影响微桥的填充因子的情况下，增加悬梁臂的有效绝热长度，从而提高微桥结构的热绝缘效果。所述微桥的微细加工方法是通过在衬底表面沉积牺牲层材料；在牺牲材料层制造出凹槽结构；沉积生长微桥结构材料层，并在牺牲材料层包含凹槽结构的地方形成皱褶结构；通过去除牺牲层材料，释放包含皱褶结构悬梁臂的微桥结构。本发明微桥结构可广泛地应用于非制冷红外探测器，气体探测器，微加热平台，红外线辐射源器件等微机电系统和器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绝缘 结构 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种热绝缘微桥结构，包括微桥主体、衬底以及支撑微桥主体悬于衬底表面之上的悬臂梁，微桥与衬底之间含有空隙，其特征在于悬臂梁部分包含至少一个在垂直方向的皱褶结构。
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