[发明专利]基于变倍显微镜定位的MEMS自动引线键合设备无效
| 申请号： | 200710071879.9 | 申请日： | 2007-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN101037186A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 孙立宁;陈立国;马凌宇;刘延杰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;H01L21/60;H01L23/48;G02B21/00;G02B21/36 |
| 代理公司： | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 祖玉清 |
| 地址： | 150001黑龙江省哈尔滨市哈*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供的是基于变倍显微镜定位的MEMS自动引线键合设备，它包括底座。在底座上设置有X轴工作台、Y轴工作台和显微镜，在工作台的上方设置有键合头，在底座上还设置有可升降支架，显微镜安装在可升降支架上并且在显微镜上设置有Z轴步进电机，显微镜上安装有放大倍数自动调节机构。由于引入了连续变倍显微镜，解决了大视野范围、高精度显微视觉定位问题，利用图象处理算法实现了整个键合操作的自动化，对批量化MEMS引线键合作业的实现起到了积极地推动作用。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 显微镜 定位 mems 自动 引线 设备 | ||
【主权项】：
1、基于变倍显微镜定位的MEMS自动引线键合设备，它包括底座，在底座上设置有X轴工作台、Y轴工作台和显微镜，在工作台的上方设置有键合头，其特征是：在底座上还设置有可升降支架，显微镜安装在可升降支架上并且在显微镜上设置有Z轴步进电机，显微镜上安装有放大倍数自动调节机构。
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