[发明专利]一种全固态薄膜电池中的负极材料CrN及其制备方法无效
| 申请号： | 200710072320.8 | 申请日： | 2007-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN101066843A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 王其冬;沈功灿;孙乾;傅正文 | 申请（专利权）人： | 宁波杉杉源创科技研发有限公司;宁波杉杉创业投资有限公司;复旦大学 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22;C23C14/35;C23C14/06;H01M4/58 |
| 代理公司： | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 祖玉清 |
| 地址： | 315177浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供的是一种全固态薄膜电池中的负极材料CrN及其制备方法。溅射腔由一个涡轮分子泵和一个机械泵抽真空直到小于0.5MPa，采用金属铬作为溅射靶，氮气作为反应气体，不锈钢片和/或玻璃为基片，气体压强保持在0.2Pa－3.0Pa，溅射电源的功率为30瓦－200瓦，并且保持基片与靶之间的距离为5厘米－10厘米，基片温度为100℃－400℃，溅射沉积时间为1－20小时形成CrN薄膜。CrN薄膜是一种新型的负极材料，可应用于全固态薄膜锂离子电池。具有比容量高，循环寿命长，不可逆容量损失少等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固态 薄膜 电池 中的 负极 材料 crn 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种全固态薄膜电池中的负极材料CrN，其特征是：本发明的锂电池负极材料是采用金属铬作为溅射靶，氮气作为反应气体，通过反应性磁控溅射的方法在不锈钢片和玻璃上沉积所形成的CrN薄膜。
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