[发明专利]运用Zernike系数精确确定激光收发同轴基准的方法

摘要

运用Zernike系数精确确定激光收发同轴基准的方法，本发明涉及收发共用同一天线的光学系统发射光路与接收光路的同轴确定方法。它克服了现有方法因角棱镜加工精度和难度的限制不能满足高精度应用需求的缺陷。它包括如下步骤：由干涉仪发射激光光束，该光束依次通过被测光学系统的发射光路组件、分光镜和光学天线后出射；光学天线的出口外垂直其光轴设置一平面镜，使从光学天线出射到平面镜表面上的激光光束沿原光路返回到干涉仪中；调整平面镜时，监视干涉仪内的干涉条纹，使Zernike小于λ/10；入射平面镜的激光光束，经平面镜反射后，经过分光镜的反射，入射到被测光学系统的接收光路组件中，以此光束为基准调整接收光路组件的光轴。

主权项

1、运用Zernike系数精确确定激光收发同轴基准的方法，其特征在于它包括如下步骤：一、由干涉仪(1)发射激光光束，该光束依次透过被测光学系统(2)的发射光路组件(2-1)、分光镜(2-2)和光学天线(2-3)后出射；二、在光学天线(2-3)的出口外垂直其光轴设置一平面镜(3)，平面镜(3)安装在调整机构(4)上，通过调整机构(4)对平面镜(3)相对于入射激光光束的垂直度进行调整，以使从光学天线(2-3)出射到平面镜(3)表面上的激光光束沿原光路返回到干涉仪(1)中；利用调整机构(4)调整平面镜(3)时，监视干涉仪(1)内的干涉条纹，使得波前误差多项式倾斜系数Zernike小于λ/10；三、入射平面镜(3)的激光光束，经平面镜(3)反射后，经过分光镜(2-2)的反射，入射到被测光学系统(2)的接收光路组件(2-4)中，以此光束为基准调整接收光路组件(2-4)的光轴。