[发明专利]射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法无效
| 申请号： | 200710072701.6 | 申请日： | 2007-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN101130855A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 田修波;杨士勤 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/48 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 王吉东 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法，本发明涉及细长管的内表面离子注入表面改性方法。它克服了已有技术在管筒与射频天线之间设置网状金属地电极的结构所带来该技术不能应用于管筒直径细情况的缺陷。它包括下述步骤：需要表面改性的管筒置于密闭容器内并把管筒接地，射频天线的一端插入密闭容器内并且位于管筒内的中心线处；通过射频天线向管筒内间歇性发射射频电磁波，管筒内的气体发生电离，从而在管筒内产生等离子体；在射频电磁波的发射间歇期间给射频天线通以正高压脉冲，射频天线与接地的管筒间形成高压电场，管筒内的正离子受到高压电场的作用，飞向管筒内壁、完成离子注入。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 天线 耦合 细长 表面 离子 注入 改性 方法 | ||
【主权项】：
1.射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法，其特征在于它包括下述步骤：一、需要表面改性的管筒(1)置于密闭容器(2)内并把管筒(1)接地，射频天线(3)的一端插入密闭容器(2)内并且位于管筒(1)内的中心线处；二、通过射频天线(3)向管筒(1)内间歇性发射射频电磁波，管筒(1)内的气体发生电离，从而在管筒(1)内产生等离子体；三、在射频电磁波的发射间歇期间给射频天线(3)通以正高压脉冲，射频天线(3)与接地的管筒(1)间形成高压电场，管筒(1)内的正离子受到高压电场的作用，飞向管筒(1)内壁、完成离子注入。
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