[发明专利]真空内镀膜机及其使用方法有效
| 申请号： | 200710073335.6 | 申请日： | 2007-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN101033538A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 黄川黔 | 申请（专利权）人： | 黄川黔 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳冠华专利事务所 | 代理人： | 李姝 |
| 地址： | 518112广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及到一种内镀膜机，尤其是指一种用于圆球型或杯型小器件的真空内镀膜机及其使用方法。其包括一抽真空系统，其设有一气管，该抽真空系统连接一用于控制抽真空系统的泵及阀门开闭的电气系统，所述的抽真空系统通过气管连接一蒸发系统，该蒸发系统包括一电源开关与一电阻式蒸发源，电阻式蒸发源由真空腔、设有抽气管口的底座、用于蒸镀的钨丝组成，底座上固定有钼正电极和钼负电极，钨丝的一端固定在钼正电极，钨丝的另一端固定在钼负电极，钼正电极和钼负电极穿过底座后利用导线与电源开关相电接。本发明一种真空内镀膜机及其使用方法的有益效果是：体积小、抽速快、生产效率高；设备维护方便；节省电能。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 镀膜 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种真空内镀膜机及其使用方法，其真空内镀膜机包括一抽真空系统(10)，其设有一气管(13)，该抽真空系统(10)连接一用于控制抽真空系统(10)的泵及阀门开闭的电气系统，本发明的特征在于：所述的抽真空系统(10)通过气管(13)连接一蒸发系统(20)，该蒸发系统(20)包括一电源开关(22)与一电阻式蒸发源(21)，电阻式蒸发源(21)由真空腔(211)、设有气管口的底座(212)、用于蒸镀的钨丝(213)组成，底座(212)上固定有正电极(215)和负电极(214)，钨丝(213)的一端固定在正电极(215)，钨丝(213)的另一端固定在负电极(214)，正电极(215)和负电极(214)穿过底座(212)后利用导线与电源开关(22)相电接。
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