[发明专利]电离规有效
| 申请号： | 200710074323.5 | 申请日： | 2007-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101303264A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 肖林;陈丕瑾;胡昭复;魏洋;刘亮;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北京市海淀区清华*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电离规，该电离规包括线状阴极、阳极和离子收集极，该阳极环绕于线状阴极外侧，离子收集极环绕于阳极外侧，其中，线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。该场发射薄膜优选为碳纳米管。该电离规利用碳纳米管的场发射性质发射电子，从而测量气体压强，因此具有结构简单、稳定性好、低功耗、低放气率等优点，适用于对温度或光敏感的真空系统。 | ||
| 搜索关键词： | 电离 | ||
【主权项】：
1.一种电离规，包括线状阴极、阳极和离子收集极，该阳极环绕于线状阴极外侧，离子收集极环绕于阳极外侧，线状阴极、阳极和离子收集极相互绝缘地间隔设置，其特征在于：线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。
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