[发明专利]半导体器件封装技术之改良无效
申请号: | 200710077614.X | 申请日: | 2007-01-24 |
公开(公告)号: | CN101231960A | 公开(公告)日: | 2008-07-30 |
发明(设计)人: | 陈庆丰 | 申请(专利权)人: | 贵阳华翔半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/58;H01L21/60 |
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地址: | 550022贵州省贵阳市国*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 一种半导体器件封装技术之改良,本创作系针对半导体器件封装用装置过程中,经过划片及裂片后的管蕊,需要依次粘在引线框架(LEAD-FRAME)等基盘上即所谓粘片(Die Bonding):粘片(Die Bonding)时对具有在管蕊背面涂敷粘合剂(导电胶)功能的粘片设备,并向管蕊背面提供含银环氧树脂等粘合剂的多针结构,粘和剂滴嘴具有自动对准功能,进而把上述结构和引线框架(LEAD-FRAME)或者胶带自动接合TAB(Tape Automated Bonding)条带安置在一条直线上,这些连贯的作业就可以简单的进行,由于这些移动操作在一条在线进行,可以用简单的机构改造以往复杂的粘片装主,实现后会有较大的使用效果:又本创作适用于面积为0.3×0.3mm以下小管蕊的粘片(Die Bonding),在表面装贴和多芯片模块MCM(Multi Chip Module)中将有很大使用价值。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 封装 技术 改良 | ||
【主权项】:
1.半导体器件封装技术之改良.其特征包含其系针对半导体器件封装过程中.经过划片及裂片后的芯片.需要依次粘在引线框架等基盘上即所谓粘片(Die Bonding);粘片(Die Bonding)时对具有在芯片背面涂敷粘合剂(导电胶)功能的粘片设备;其系黏附着以划开的芯片的塑料薄膜/蓝膜.被压膜环固定在可以沿X-Y方向运动的平台上,又多针状接触针从粘合剂(导电胶)中露了出来,露出量的多少,可透过汽缸来调整,汽缸带动多针状接触针结构向下浸人粘合剂(导电胶)中:多针状接触针结构在汽缸的推动下,露出粘合剂(导电胶)液面与真空吸嘴吸附的芯片接触.进行粘合剂(导电胶)涂敷;向芯片背面涂敷粘合剂(导电胶)完毕后,为避免粘合剂(导电胶)干燥,多针状接接触针结构在汽缸的带动下浸入粘合剂(导电胶)中粘接背面涂敷粘合剂(导电胶)的芯片在真空吸嘴的带动下向引线框架(LEAD-FRAME)进行粘片(Die Bonding);又真空吸嘴,从塑料薄膜/蓝膜中取出芯片.做水平运动,在芯片背面涂数粘合剂(导电胶),继续水平运动将芯片粘在引线框架(LEAD-FRAME)上;些操作在一条直线上进行,可以用简单的机构改造以往复杂的粘片(Die Bonding)装置,完成后会有较大的使用效果。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造