[发明专利]压电薄膜器件无效
| 申请号： | 200710078707.4 | 申请日： | 2007-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN101026367A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | 吉野隆史;山口省一郎;岩田雄一;浜岛章;铃木健吾 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社;NGK光陶瓷株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/15;H01L41/18 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的压电薄膜器件可防止热膨胀之差引起的特性变动或破损。含有4个压电薄膜谐振子(R11～R14)的压电薄膜滤波器(1)具有通过粘接层(12)粘接滤波器部(11)和平坦的底座基板(13)的结构，该滤波器部(11)提供压电薄膜滤波器(1)的过滤功能，该底座基板(13)机械地支撑滤波器部(11)，在制造压电薄膜滤波器(1)时，虽然通过对可单独承受自重的压电体基板进行去除加工得到压电体薄膜(111)，但作为底座基板13以及压电体基板，采用同种单晶材料的基板，使热膨胀系数在压电体薄膜(111)以及底座基板(13)中一致。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 器件 | ||
【主权项】：
1.一种压电薄膜器件，含有单个或多个压电薄膜谐振子，其特征在于，具备压电体薄膜，以及支撑含有上述压电体薄膜的所定部件的支撑体，至少在与上述压电体薄膜平行的方向，使线热膨胀系数在上述压电体薄膜以及上述支撑体中一致。
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