[发明专利]压电薄膜器件以及该压电薄膜器件的制造方法有效
| 申请号： | 200710078708.9 | 申请日： | 2007-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN101026365A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | 吉野隆史;山口省一郎;岩田雄一;浜岛章;铃木健吾 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社;NGK光陶瓷株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/15 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的压电薄膜器件可提高构成压电薄膜的压电材料或压电体薄膜中结晶方位的选择自由度。含有4个压电薄膜谐振子(R11～R14)的压电薄膜滤波器(1)具有通过粘接层(12)粘接滤波器部(11)和平坦的底座基板(13)的结构，该滤波器部(11)提供压电薄膜滤波器(1)的过滤功能，该底座基板(13)机械地支撑滤波器部(11)，在制造压电薄膜滤波器(1)时，通过对压电体基板进行去除加工得到压电体薄膜(111)，但由去除加工得到的压电体薄膜(111)不能单独承受自重，所以在去除加工前预先将包含压电体基板的所定部件粘接在用作支撑体的底座基板(13)上。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 器件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电薄膜器件的制造方法，是含有单个或多个压电薄膜谐振子的压电薄膜器件的制造方法，其特征在于，具备以下工序：制作含有压电体基板的所定部件的制造工序；将上述部件粘接在支撑体上的粘接工序；以及，在维持将上述部件粘接在上述支撑体上的状态下，通过对上述压电体基板进行去除加工而得到压电体薄膜的去除加工工序。
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