[发明专利]力学量测定装置有效
| 申请号： | 200710078957.8 | 申请日： | 2007-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN101046368A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 岛津浩美;太田裕之;丹野洋平 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;G01L1/18;G01L1/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 曲瑞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种力学量测定装置，可以高精度地测定特定方向的应变分量。该力学量测定装置在半导体单晶基板、半导体芯片内至少形成两组以上的电桥电路，在上述电桥电路中，一个电桥电路形成流有电流并测定电阻值变动的方向(长边方向)与该半导体单晶基板的(100)方向平行的n型扩散电阻，另一个电桥电路组合形成与(110)方向平行的p型扩散电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 力学 测定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种力学量测定装置，在半导体基板表面上具备应变检测部，并且通过安装在被测定物上来测定应变，其特征在于，具备：分别利用扩散电阻形成惠斯登电桥的第一传感器和第二传感器，其中，构成所述第一传感器的所述扩散电阻的相互距离小于其长边方向的长度，构成所述第二传感器的所述扩散电阻的相互距离小于其长边方向的长度，所述第一传感器与第二传感器的距离小于所述扩散电阻的长边方向的长度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立制作所，未经株式会社日立制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710078957.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
