[发明专利]气泡式微泵与应用其的装置

摘要

一种气泡式微泵，包括第一部件、第二部件与气泡产生单元。第一部件具有流道，流道上具有至少一第一区域与一第二区域。第二部件设置于第一部件上，且第二部件的表面对应于第一区域为具有第一粗糙因子的粗糙表面，而对应于第二区域为具有第二粗糙因子的粗糙表面，其中，第一粗糙因子实质上大于第二粗糙因子。气泡产生单元设置于第一部件上，其可于第一部件与第二部件之间填满液体时，于第一区域与第二区域产生气泡。当气泡产生单元产生的气泡开始散失时，由于第一粗糙因子与第二粗糙因子的差异，使第一区域的液体回填速度大于第二区域的液体回填速度，由此带动液体流动。气泡式微泵的构造简易，仅利用一般微机电工艺即可制造出具有表面粗糙梯度的部件，成本非常低。

主权项

1. 一种气泡式微泵，包括：第一部件，具有流道，所述流道上具有至少第一区域与第二区域；第二部件，设置于所述第一部件上，所述第二部件的表面对应于所述第一区域为具有第一粗糙因子的粗糙表面，对应于所述第二区域为具有第二粗糙因子的粗糙表面，所述第一粗糙因子实质上大于所述第二粗糙因子；以及气泡产生单元，设置于所述第一部件上，可在所述第一部件与所述第二部件之间填满液体时，在所述第一区域与所述第二区域产生气泡；其中，当所述气泡产生单元产生的气泡开始散失时，由于所述第一粗糙因子与所述第二粗糙因子的差异，使所述第一区域的液体回填速度大于所述第二区域的液体回填速度，由此带动液体流动。