[发明专利]薄化玻璃衬底的设备

摘要

本发明提供一种薄化玻璃衬底的设备，其包含至少一个化学物喷射部件、化学物供应部件以及浴槽。化学物喷射部件包含第一管和包围所述第一管的第二管。第一管具有沿着第一方向设置的多个第一喷射孔。第二管具有沿着第二方向设置在第二管的侧部处的至少一个第二喷射孔。化学物供应部件包含连接管以及压泵。连接管耦合到化学物喷射部件，且压泵设置在连接管的端部处。浴槽包含用于存储化学物的化学物容纳部件以及设置在化学物容纳部件上的围栏。围栏容纳化学物喷射部件。

主权项

1、一种薄化玻璃衬底的设备，其特征在于包括：至少一个化学物喷射部件，其包含第一管以及包围所述第一管的第二管，所述第一管具有沿着第一方向设置的多个第一喷射孔，所述第二管具有沿着第二方向设置在所述第二管的侧部处的至少一个第二喷射孔；化学物供应部件，其包含连接管以及压泵，所述连接管耦合到所述化学物喷射部件，所述压泵设置在所述连接管的端部处；以及浴槽，其包含用于存储化学物的化学物容纳部件以及设置在所述化学物容纳部件上的围栏，所述围栏容纳所述化学物喷射部件，其中通过使用所述压泵将所述化学物均匀地喷射在设置在所述围栏中的至少一个玻璃衬底的整个表面上，以在薄化所述玻璃衬底时移除附着在所述玻璃衬底上的反应副产物，且由所述化学物容纳部件收集喷射在所述玻璃衬底上的所述化学物。