[发明专利]光阻剂清洗液组成物及其应用无效
申请号: | 200710079902.9 | 申请日: | 2007-02-16 |
公开(公告)号: | CN101246315A | 公开(公告)日: | 2008-08-20 |
发明(设计)人: | 刘大铭;李晏成;廖玉芬 | 申请(专利权)人: | 明德国际仓储贸易(上海)有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42;G02F1/1335;G02B5/23 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 200131上海市外高*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明是关于一种光阻剂的清洗液组成物,其包含:(a)水;(b)氢氧四级铵基盐类化合物;(c)醇胺类化合物;以及(d)如上式(I)化合物的非离子性界面活性剂,其中R1、R2、n与m定义如说明书所示。本发明的光阻剂清洗液适用于未硬化的感光性组成物的光阻剂,且特别适用于彩色滤光片未硬化的感光性组成物除去的清洗液用途上。 | ||
搜索关键词: | 光阻剂 清洗 组成 及其 应用 | ||
【主权项】:
1. 一种清洗液组成物,其特征在于,其包含:(a)水;(b)氢氧四级铵基盐类化合物;(c)醇胺类化合物;以及(d)如下式(I)化合物的非离子性界面活性剂:
其中,R1是氢原子或甲基,R2是氢原子或甲基,n是0至10的整数,m是4至20的整数;其中,每100重量份的清洗液组成物中,含有该组成份(a)为97.9~75重量份,该组成份(b)为1~10重量份,该组成份(c)为1~10重量份,以及该组成份(d)为0.1~5重量份。
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