[发明专利]等离子体发生装置和工件处理装置无效
申请号: | 200710079921.1 | 申请日: | 2007-02-17 |
公开(公告)号: | CN101026921A | 公开(公告)日: | 2007-08-29 |
发明(设计)人: | 松内秀高;岩崎龙一;万川宏史;增田滋;林博史;三毛正明 | 申请(专利权)人: | 诺日士钢机株式会社 |
主分类号: | H05H1/30 | 分类号: | H05H1/30;B01J19/08;C23C16/455;C23F4/00;H01L21/302 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 武玉琴;张友文 |
地址: | 日本和*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的等离子体发生装置包括:微波发生部,生成微波;供气部,提供等离子体化的气体;等离子体发生喷嘴,包含接收所述微波的接收构件,并根据接收到的微波的能量,使所述气体等离子体化后喷出;以及光检测单元,检测所述等离子体化的气体发出的光,生成电信息。 | ||
搜索关键词: | 等离子体 发生 装置 工件 处理 | ||
【主权项】:
1.一种等离子体发生装置,包括:微波发生部,生成微波;供气部,提供等离子体化的气体;等离子体发生喷嘴,包含接收所述微波的接收构件,并根据接收到的微波的能量,使所述气体等离子体化后喷出;以及光检测单元,检测所述等离子体化的气体发出的光,生成电信息。
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