[发明专利]喷嘴衬底的制造方法、液滴喷出头的制造方法、液滴喷出头及液滴喷出装置

摘要

本发明提供一种喷嘴衬底的制造方法，在衬底加工时与支撑衬底牢固地粘接而不使衬底产生破损，可以容易地从衬底上剥离支撑衬底，另外，在衬底发生龟裂时，龟裂不到达喷出头部分，由此操作容易、有助于提高成品率和生产率。该方法具有以下工序：在被加工衬底(100)上，通过蚀刻加工形成成为喷嘴孔(11)的凹部的工序；在形成有凹部的加工侧的面上粘合第一支撑衬底(61)的工序；从粘合第一支撑衬底的面的相反侧的面，将被加工衬底薄板化加工为希望的厚度，从而使凹部的前端开口的工序；在凹部被开口的开口侧的面粘合第二支撑衬底(62)的工序；将第一支撑衬底从被加工衬底剥离，在该剥离面上接合第三支撑衬底的工序；将第二支撑衬底从被加工衬底剥离的工序。

主权项

1.一种喷嘴衬底的制造方法，其特征在于，包括：在被加工衬底上，通过蚀刻加工形成用于喷出液滴的多个成为喷嘴孔的凹部的工序；在形成有所述凹部的所述被加工衬底的加工侧的面上粘合第一支撑衬底的工序；从与粘合所述第一支撑衬底的面相反一侧的面，将所述被加工衬底薄板化加工为希望的厚度，从而使所述凹部的前端开口的工序；在所述凹部的前端被开口的开口侧的面上粘合第二支撑衬底的工序；将所述第一支撑衬底从所述被加工衬底剥离，在该剥离面上接合第三支撑衬底的工序；将所述第二支撑衬底从所述被加工衬底剥离的工序。