[发明专利]显示器件有效

专利信息
申请号: 200710085019.0 申请日: 2002-03-27
公开(公告)号: CN101009292A 公开(公告)日: 2007-08-01
发明(设计)人: 山崎舜平;须泽英臣;小野幸治;楠山义弘 申请(专利权)人: 株式会社半导体能源研究所
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L27/32;H01L23/522;H01L23/532;H01L23/528;H01L29/786;H01L29/423;H01L29/49;G02F1/1362
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 刘春元;梁永
地址: 日本神奈*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的布线具有层叠结构,它包括具有第一宽度的第一导电层(第一层),由选自W和Mo,或主要含该元素的合金或化合物的一种或多种元素制成;低阻的第二导电层(第二层),其具有小于第一宽度的第二宽度,由主要含Al的合金或化合物制成;及第三导电层(第三层),其具有小于第二宽度的第三宽度,由主要含Ti的合金或化合物制成。采用这种结构,使本发明为象素段的扩大留有充分的余地。至少第二导电层的边缘具有锥形的截面。由于这种形状,使得能够获得令人满意的覆盖范围。
搜索关键词: 显示 器件
【主权项】:
1.一种显示器件,该显示器件包括:在绝缘表面上的栅布线,其中所述的栅布线包括:在所述绝缘表面上的第一导电层;在第一导电层上包含铜的第二导电层;和在该第二导电层上的第三导电层;在所述栅布线上方的栅绝缘膜;和半导体层,其包括在该栅绝缘膜上方的沟道形成区域,其中所述第一导电层、第二导电层、第三导电层三者中的至少一个的边缘的截面具有锥形形状。
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