[发明专利]抛光表面无效
| 申请号： | 200710085240.6 | 申请日： | 2007-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN101058169A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 本杰明·A·邦纳;彼得·麦克雷诺;格雷戈里·E·门克;格沛拉克里西那·B·普拉布;阿南德·N·莱尔;加伦·C·勒温;史蒂文·M·苏尼加;埃里克·S·朗登;亨利·H·奥 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00;B24D11/02;B24B29/00;B24B41/047;B24D18/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光装置。该抛光装置包括：可旋转压盘；驱动机构，用于以线性方向逐渐推进具有抛光表面的抛光片通过所述压盘；在所述压盘上的子垫，用于支撑所述抛光片，所述子垫具有形成于其中的凹槽；以及真空源，其与所述子垫的凹槽相连接并且配置用于提供足以将部分所述抛光片拉入所述子垫的凹槽中的真空，以在所述抛光表面形成凹槽。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 表面 | ||
【主权项】：
1、一种抛光物，包括：具有线性透明部分的线性抛光片，其中所述线性透明部分由在约2.5英寸的半径范围分布而不会破裂的弹性材料形成。
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