[发明专利]用于从图案化基板分离压模的方法和装置

摘要

本发明提供一种用于将压模从图案化基板分离的方法和装置。该方法包括：提供基板，其具有顶和底，其中有开口；提供配置来保持该基板的支承机构；提供具有形成的图案且配置为与所述基板的顶接触的压模，其中当该压模与该基板接触时腔形成在该基板的开口内；提供导向所述腔从而将加压空气引入到所述腔内的通道；以及引导加压空气穿过所述通道至所述腔从而开始所述压模从所述基板的分离。在某些实施例中，加压空气可被导向该基板中的开口，例如盘中的中心ID孔。该盘可以包括在存储装置中作为图案化磁介质。

主权项

1.一种将压模从图案化基板分离的方法，该方法包括：提供其中有开口的基板，其具有顶和底，所述顶包括可压印抗蚀剂层；提供配置来保持该基板的支承机构；提供压模，该压模具有形成的图案且配置为与所述基板的顶接触以将该形成的图案转移到所述可压印抗蚀剂层，其中当该压模与该基板接触时腔形成在该基板的开口内；提供引导朝向所述腔从而将加压空气引入到所述腔内的通道；以及引导加压空气通过所述通道至所述腔从而开始所述压模从所述基板的分离。