[发明专利]可变电容器及其制造方法无效
| 申请号： | 200710085687.3 | 申请日： | 2007-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101034623A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 岛内岳明;今井雅彦;上田知史 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | H01G5/16 | 分类号： | H01G5/16;H01G5/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈晨 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种可变电容器及其制造方法，该制造方法提供在温度变化影响下电容保持稳定的可变电容器。这种可变电容器包括：固定电极；活动电极膜，其面对该固定电极；以及锚定部，其在该固定电极与该活动电极膜之间提供部分连接。为了制造这种可变电容器，形成第一电极以用作固定电极。然后，在固定电极上形成锚定部，并形成牺牲膜以覆盖固定电极但部分地暴露出锚定部。在牺牲膜上形成第二电极以用作活动电极膜，并接合至锚定部。最后，去除牺牲膜。 | ||
| 搜索关键词： | 可变电容器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种可变电容器，包括：固定电极；活动电极膜，面对该固定电极；以及锚定部，用于在该固定电极与该活动电极膜之间提供部分连接。
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