[发明专利]具有设置成增强电流积聚的窄宽度区域的电编程熔丝结构及其制造方法

摘要

提供了一种电编程熔丝结构及其制造方法，其中熔丝具有由长熔丝元件互连的第一端部和第二端部。第一端部的最大宽度大于熔丝元件的最大宽度，并且熔丝具有窄宽度区域，在其处第一端部和熔丝元件连接。窄宽度区域至少部分延伸进所述第一端部并包括第一端部的部分。窄区域中第一端部的宽度小于第一端部的最大宽度以增强那里的电流积聚。在另一方案中，熔丝元件包括限制宽度区域，其中熔丝元件宽度小于其最大宽度以增强那里的电流积聚，并且限制宽度区域的长度小于熔丝元件的总长度。

主权项

1.一种用于集成电路的电编程熔丝，所述熔丝包括：由长熔丝元件互连的第一端部和第二端部；以及其中所述第一端部的最大宽度大于所述长熔丝元件的最大宽度，并且其中所述熔丝包括窄宽度区域，在所述窄宽度区域处所述第一端部与所述长熔丝元件连接，所述窄宽度区域至少部分地延伸进所述第一端部并包括第一端部的部分，并且其中所述窄宽度区域中的第一端部的宽度小于第一端部的最大宽度，从而增强那里的电流积聚。