[发明专利]基板处理装置的控制装置和基板处理装置的控制方法有效
| 申请号： | 200710086068.6 | 申请日： | 2007-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN101034285A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 饭岛清仁 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种控制基板处理装置的控制装置，可以整理状态，并降低能量消耗。数据库(250)将从普通模式向节能模式(节约模式、休眠模式、冬眠模式)的转移时间A、从节能模式向普通模式的恢复时间B，预先存储到在PM(400)中设置的每个单元中。管理部(270)根据存储的各单元的节能模式转移时间A和节能恢复时间B，利用节能开始计时器(285a)、节能结束计时器(285b)，对每个单元的向节能模式的转移开始时刻、从节能模式的恢复开始时刻进行管理。单元控制部(260)分别单独进行控制，根据转移开始时刻和恢复开始时刻，使各单元从普通模式转移到节能模式，从节能模式恢复到普通模式。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置的控制装置，是控制具有对被处理基板进行处理的处理室以及为了整理所述处理室内的状态而设置的多个单元的基板处理装置的控制装置，其特征在于，包括：存储部，将为了使所述各单元的状态从抑制能量消耗的节能模式恢复到能够进行被处理基板处理的普通模式所需要的时间作为恢复时间，存储到每个所述单元中；管理部，根据存储到所述存储部中的各单元的恢复时间，预计为了从节能模式恢复到普通模式所需要的时间，并按每个单元求出处于节能模式的单元开始恢复的时刻；以及单元控制部，分别独立控制各单元，根据由所述管理部求出的每个单元的恢复开始时刻，使处于节能模式的单元恢复到普通模式。
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