[发明专利]抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置有效
| 申请号： | 200710086161.7 | 申请日： | 2007-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101030046A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 李骐范;金柄郁;朴美仙;洪振燮;任润吉;尹锡壹 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/26;H01L21/027;C02F9/10;C02F1/66;C02F1/58;C02F1/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰;赵冬梅 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置，其特别适于经济性较好地对使用含各种专门的胺化合物的剥离液的剥离工序时以及使用各种抗蚀剂和剥离液时所产生的抗蚀剂剥离废液进行再生。所述再生装置适用于该再生方法。本发明所述的再生方法是对含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的抗蚀剂剥离废液进行再生的方法，该方法的特征在于，其含有：(a)添加酸的工序，所述酸与抗蚀剂剥离废液的胺化合物发生反应而使得胺化合物以胺－酸化合物的形式从剥离废液中析出；(b)将上述(a)工序中析出的胺－酸化合物从剥离废液中滤出的工序；和(c)对上述(b)工序中除去胺的剥离废液进行分别蒸馏而仅获取有机溶剂的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 废液 再生 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离废液的再生方法，其是对含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的抗蚀剂剥离废液进行再生的方法，该方法的特征在于，其含有：(a)添加酸的工序，所述酸与抗蚀剂剥离废液的胺化合物发生反应，使得胺化合物以胺-酸化合物的形式从剥离废液中析出；(b)将上述(a)工序中析出的胺-酸化合物从剥离废液中过滤除去的工序；和(c)对上述(b)工序中除去胺的剥离废液进行分别蒸馏而仅获取有机溶剂的工序。
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