[发明专利]缺陷检查装置缺陷检查方法

摘要

本发明提供一种能够提高对检查区域的端部的缺陷检查的精度的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。光源(1A、1B)以使彼此的照射区域(检查区域)的端部重叠的方式分别发出照射光(LA1、LB1)。拍摄装置(2)接收镜面反射光(LA2、LB2)而生成分别与光源(1A、1B)对应的两个图像。主控制部件(3)合成两个图像并判定有无缺陷。照射光(LA1、LB1)从相互不同的方向发射到被检查面(A)，从而使各图像中表示缺陷的区域的位置稍微错位。因此，在各图像中，即使表示缺陷的区域的面积小，但通过重叠两个图像，也能够使在合成后的图像中表示缺陷部的区域的面积变大。由此能够提高对检查区域的端部的缺陷检测的精度。

主权项

1.一种缺陷检查装置，对表面具有光泽的检查对象发出光，并通过反射光检查在上述检查对象的表面上有无缺陷，其特征在于，具有：拍摄装置，其接收第一照射光在上述检查对象的表面发生镜面反射的光，从而拍摄上述检查对象的表面而生成第一检查图像，并接收第二照射光在上述检查对象的表面发生镜面反射的光，从而拍摄上述检查对象的表面而生成第二检查图像；第一光源，其以上述拍摄装置能够接收在上述检查对象的表面发生镜面反射的光的方式发出上述第一照射光；第二光源，其以上述拍摄装置能够接收在上述检查对象的表面发生镜面反射的光的方式、且以与上述第一照射光不同的角度发出上述第二照射光，上述第一以及第二光源以使第一镜面反射区域和第二镜面反射区域重叠的方式发出上述第一以及上述第二照射光，其中，上述第一镜面反射区域是指上述检查对象表面上的、上述拍摄装置能够接收上述第一照射光的镜面反射光的范围，上述第二镜面反射区域是指上述检查对象表面上的、上述拍摄装置能够接收上述第二照射光的镜面反射光的范围，该缺陷检查装置还具有主控制部件，其从上述拍摄装置取得第一以及第二检查图像，并重叠上述第一以及第二检查图像，然后判定在上述检查对象的表面上有无与周围相比呈凸状或凹状的缺陷。