[发明专利]电子部件搭载装置

摘要

抑制吸附喷嘴部的振动，以可以高精度地进行部件的高速搭载。设有用于检测吸附喷嘴(22)部加速度的传感器(加速度传感器(30)、陀螺传感器(31))，根据由该传感器检测出的加速度信号，由驱动轴的电动机控制装置进行驱动轴的驱动控制，以抑制吸附喷嘴部的振动。上述电动机控制装置，能够将由负载侧干扰观测器(70、71)推定的负载侧干扰通过从负载侧干扰至位置指令值的逆系统(80、81)进行反馈，所述负载侧干扰观测器由使用上述传感器检测出的加速度信号构成，用于补偿包括负载变动或参数变动的干扰。另外，上述电动机控制装置能够通过将干扰观测器使用的电动机惯性的标称值设定为大于实际的电动机惯性值，进行相位超前补偿。

主权项

1.一种电子部件搭载装置，其特征在于，设有传感器，其用于检测吸附喷嘴的加速度，利用由该传感器检测出的加速度信号，由驱动轴的电动机控制装置进行驱动轴的驱动控制，以抑制吸附喷嘴的振动。