[发明专利]平面基板自动检测系统及方法有效
| 申请号： | 200710087656.1 | 申请日： | 2007-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101021490A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 严征;李波;陈维华;杨铁成;李宁;高剑波 | 申请（专利权）人： | 3i系统公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01R31/309 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 华辉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平面基板自动检测系统及方法，系统包含有光学模块，光学模块包含有照明组件和透镜组，透镜组引导照明光束至基板的部分区域，透镜组包含一个菲涅尔透镜，光学模块包含一个相机，相机接收经照明光源和基板作用后产生的反射光，相机包含一个时间延迟积分(TDI)传感器，远心成像透镜引导来自基板的反射光至相机，照明组件包含一个连接至含多组LED光源的控制器，每个LED可发射不同波长的光线。控制器独立控制每个LED光源。本发明能够高速分析大型平面基板，具有高灵敏度，而且可提供高分辨率图像。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 自动检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种平面基板自动检测系统，其特征在于包括：一个照明组件；一个用于引导照明组件的光束至基板的特定区域的透镜组，该透镜组至少包含一个菲涅尔透镜；和一个接收照明光与基板表面作用后的反射光的相机，该相机包含一个时间延迟积分(TDI)传感器。
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