[发明专利]一种包含光罩的装置以及制造该光罩的方法无效
| 申请号： | 200710088298.6 | 申请日： | 2007-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN101131535A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 林锦鸿;胡清旺;何铭涛 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/00 | 分类号： | G03F1/00;G03F1/14;G03F1/08 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种包含光罩的装置以及制造该光罩的方法。该光罩具有一图样表面及在图样表面上成一透明层。该制造光罩的方法，其包含以下步骤：提供一光罩基材，该光罩基材包含第一材质；图样化该光罩基材以形成一图样表面；以及在该图样表面形成一阻障层，该阻障层包含第一材料。该包含光罩的装置，其包含：一透明层；一图样层，形成在透明层上；以及一光雾减少层，形成在图样层上。本发明可以减少光雾的形成，非常适于实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 包含 装置 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造光罩的方法，其特征在于其包含以下步骤：提供一光罩基材，该光罩基材包含第一材质；图样化该光罩基材以形成一图样表面；以及在该图样表面形成一阻障层，该阻障层包含第一材料。
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