[发明专利]防死水处理装置与超纯水制造系统无效
申请号: | 200710088928.X | 申请日: | 2007-03-26 |
公开(公告)号: | CN101274807A | 公开(公告)日: | 2008-10-01 |
发明(设计)人: | 魏善修 | 申请(专利权)人: | 力晶半导体股份有限公司 |
主分类号: | C02F9/08 | 分类号: | C02F9/08;C02F1/32;C02F1/44 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种防死水处理装置,配置于水处理单元上,包括旁流管路、旁流阀和短流管路。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口,旁流管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上。短流管路的一端连接于旁流阀的进水口,短流管路的另一端连接于旁流阀的出水口。 | ||
搜索关键词: | 死水 处理 装置 超纯水 制造 系统 | ||
【主权项】:
1. 一种防死水处理装置,配置于水处理单元上,包括:旁流管路,该旁流管路的一端连接于该水处理单元的进水口,该旁流管路的另一端连接于该水处理单元的出水口;旁流阀,配置于该旁流管路上;和短流管路,该短流管路的一端连接于该旁流阀的进水口,该短流管路的另一端连接于该旁流阀的出水口。
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