[发明专利]图案缺陷检查装置、图案缺陷检查方法及光掩模的制造方法

摘要

一种图案缺陷检查装置(10)，其检查表面具备单位图案规则排列而构成的重复图案的光掩模(50)的所述重复图案上产生的缺陷，所述图案缺陷检查装置(10)具有：光源装置(12)，其以期望的入射角向光掩模(50)的分割检查区域(58)照射光；载物台，其具备支承所述光掩模的支承面；观察装置(13)，其接受来自所述光掩模的重复图案的n次衍射光；旋转装置(16)，其为了从不同的方向向所述光掩模照射光，而使光源装置的准直透镜(19)在与载物台的支承面平行的面内旋转规定角度。

主权项

1.一种图案缺陷检查装置，其检查表面具备单位图案规则排列而构成的重复图案的被检查体的所述重复图案上产生的缺陷，其特征在于，具有：光源机构，其以期望的入射角向所述被检查体的检查区域照射光；载物台，其具备支承所述被检查体的支承面；观察机构，其接受来自所述被检查体的所述重复图案的衍射光；移动机构，其为了从不同的方向向所述被检查体照射光，或者/以及从不同的方向接受来自所述被检查体的衍射光，而使所述光源机构和所述观察机构的至少之一相对所述载物台移动规定角度。