[发明专利]加热装置及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200710089122.2 申请日: 2007-03-19
公开(公告)号: CN101043766A 公开(公告)日: 2007-09-26
发明(设计)人: 后藤义信;冈岛久和 申请(专利权)人: 日本碍子株式会社
主分类号: H05B3/06 分类号: H05B3/06;H05B3/20;H05B3/74;H01L21/02;H01L21/68
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人: 张敬强
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的加热装置具有加热基体(11)以及与该加热基体(11)接合的中空部件(13),有效地防止在加热基体(11)和中空部件棒材(13)的接合界面产生裂纹。加热装置具备板状的加热基体(11)和一端面接合在该加热基体(11)的一个面上的中空部件(13),加热基体11具有在与中空部件(13)的接合部附近、与该中空部件(13)的外周面(13b)成同一面的侧面部(11e);以及与该侧面部(11e)连接的凹曲面部(11d),加热基体(11)和中空部件(13)的接合界面的端部位于该加热基体(11)的侧面部(11e)和中空部件(13)的外周部(13b)之间。
搜索关键词: 加热 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种加热装置,其特征在于,具备:板状的加热基体,以及一端面接合在该加热基体的一个面上的中空棒部件,上述加热基体在与上述中空棒部件的接合部附近具有:与该中空棒部件的外周面成同一面的侧面部,以及与该侧面部连接的凹曲面部,该加热基体和上述中棒部件的接合界面的端部位于该加热基体的侧面部和中空棒部件的外周面之间。
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