[发明专利]洁净烘箱有效
| 申请号： | 200710089557.7 | 申请日： | 2007-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN101046349A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 迫中和广 | 申请（专利权）人： | 爱斯佩克株式会社 |
| 主分类号： | F26B3/02 | 分类号： | F26B3/02;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王昭林;崔华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了实现几乎没有热损失的、具有高洁净性能的、而且降低设备负担的洁净烘箱，本发明的洁净烘箱(1)中，在环境气体的压力相等的连接部(B)和连接部(C)处，使设置于炉外的输送管(11)与炉内连接，以连接该连接部(B)和连接部(C)，输送管(11)内部具有冷却器(6)和冷却器用风扇(12)。由于冷却器(6)设置于炉外，几乎没有热损失，而且由于没有设置风闸阀，所以具有不产生灰尘的高洁净性能。另外，在加热过程中停止冷却水的供给的情况下，由于冷却器用风扇(12)停止，所以不需要用于将蒸汽排出洁净室外的输送管。 | ||
| 搜索关键词： | 洁净 烘箱 | ||
【主权项】：
1、一种洁净烘箱，在与外部隔热的炉内具有加热部、烘箱用送风机构和烘箱用过滤器，上述烘箱用送风机构将被上述加热部加热的环境气体经由上述烘箱用过滤器吹向热处理物，使其在上述炉内循环，其特征在于，具有冷却部和冷却器用送风机构的输送管在上述炉内的第1连接部和第2连接部处分别与第1连接部和第2连接部连接，炉内的环境气体通过上述冷却器用送风机构在上述第1连接部处流入上述输送管内，上述输送管内的环境气体通过上述冷却器用送风机构在上述第2连接部处流入炉内，上述第1连接部和第2连接部处的环境气体的压力相等，上述输送管被设置在炉外。
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