[发明专利]激光退火设备有效
| 申请号： | 200710089719.7 | 申请日： | 2007-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN101047111A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 森田浩之 | 申请（专利权）人： | 激光先进技术股份公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;B23K26/06;G02B6/00;G02B17/06;G02B27/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙志湧;陆锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种激光退火设备，包括：激光振荡器，具有Q开关操作方式；一个或多个部分反射镜，用于将从激光振荡器发射的激光束分开为多个波束；多个光纤，分别发射由部分反射镜所分开的多个激光束，并且其各个发射端在一个方向上呈线性布置；第一光学系统，用于合成和均质化从光纤发射来的多个激光束；以及第二光学系统，用于将从第一光学系统发射来的激光束聚焦到工件表面上作为其波束形状在横向上较长并且在纵向上较短的矩形激光束。因此，甚至在其中使用由诸如具有Q开关操作方式等的Nd:YAG激光的第二谐波等的绿色激光作为加热光源的情况下，也可以通过细长光纤来发射激光功率。因此，能够在不需要任何激光放大器或高频生成设备的情况下获得具有较高质量工作性能的微型激光退火设备。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 退火 设备 | ||
【主权项】：
1.一种激光退火设备，包括：激光振荡器，具有Q开关操作方式；一个或多个部分反射镜，用于将从所述激光振荡器发射来的激光束分开为多个激光束；多个光纤，其分别发射由所述部分反射镜所分开的多个激光束，并且其各个发射端在一个方向上呈线性地布置；第一光学系统，用于合成和均质化从所述光纤发射来的多个激光束；以及第二光学系统，用于将从所述第一光学系统发射来的激光束聚焦到工件表面上作为其波束形状在横向上较长并且在纵向上较短的矩形激光束。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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