[发明专利]装配衬底的检查方法和系统与生产方法无效
| 申请号： | 200710089883.8 | 申请日： | 2005-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN101031200A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 石羽正人;栗山淳;村上清;四谷辉久 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | H05K13/08 | 分类号： | H05K13/08;G01N21/84;H01Q1/24;H01Q1/10 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴世华 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供装配衬底的检查方法和系统与生产方法。具有装配于其上的组件的衬底是通过多个连续进行的生产步骤来生产的。提供检查装置，每个检查装置与包括最终步骤的这些生产步骤中不同的生产步骤相关联。这些检查装置在它们之间相互通信，并且均使用随后摄取的待检查的靶衬底的图像或者早期执行的生产步骤中获得的数据。 | ||
| 搜索关键词： | 装配 衬底 检查 方法 系统 生产 | ||
【主权项】：
1.一种用于衬底的检查方法，所述衬底具有装配于其上的组件，并通过多个连续进行的生产步骤来生产，所述检查方法包括如下步骤：提供多个检查装置，每个所述检查装置与包括最终生产步骤的所述生产步骤中不同的一个生产步骤相关联；以及通过每个所述检查装置利用在与其相关联的生产步骤之后所摄取的衬底图像，来对所述衬底进行检查过程；其中，与在另一生产步骤之后进行的所述生产步骤之一相关联的每个所述检查装置，该另一生产步骤具有与其相关联的另一检查装置，输入在所述另一检查装置检查所述衬底时产生的数据，并利用所输入的数据来检查所述衬底。
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