[发明专利]搬运装置

摘要

本发明提供一种搬运装置，其使装置小型化，并防止了灰尘飞散到处理台的作业区域，能以良好的平衡来卷绕带与保护片。搬运装置(A)将带(T)搬运至沿铅直方向设置的曝光台(14)，并且该搬运装置(A)以曝光台(14)为界配置于一侧，所述搬运装置(A)包括：供给卷筒(2)，其送出带(T)；卷绕卷筒(5)，其设于供给卷筒(2)的下方，卷绕带(T)；保护片搬运系统(4)，其经由曝光台(14)将带(T)从供给卷筒(2)搬运至卷绕卷筒(5)，在供给卷筒(2)上卷绕着与带(T)对置设置的保护片(S)，搬运装置(A)具有保护片搬运系统(4)，该保护片搬运系统(4)向与曝光台(14)不同的方向迂回，将保护片(S)从供给卷筒(2)搬运至卷绕卷筒(5)。

主权项

1.一种搬运装置，其将带状的工件搬运至沿铅直方向设置的处理台，并且该搬运装置以上述处理台为界配置于一侧，其特征在于，所述搬运装置包括：供给卷筒，其送出所卷绕的上述工件和与该工件对置地卷绕的保护片；卷绕卷筒，其设于上述供给卷筒的下方，卷绕从上述供给卷筒送出的上述工件；工件搬运单元，其将上述工件从上述供给卷筒经由上述处理台搬运至上述卷绕卷筒；以及保护片搬运单元，其以上述供给卷筒为基点向与上述处理台不同的方向迂回，将上述保护片从上述供给卷筒搬运至上述卷绕卷筒。