[发明专利]涂布方法以及涂布装置、显示器用部件的制造方法以及制造装置

摘要

一种能够有效地排出侵入到模具式涂布机的涂布器内部的气体的涂布方法及装置、以及使用了它们的显示器用部件的制造方法及装置。利用具备向涂布器供给涂布液的液体供给装置、具有涂布液吐出口及气体和涂布液的排出口的涂布器、与排出口连接且位于与排出口大体相同或比其低的位置且具有开闭阀的气体排出路径、贮存从气体排出路径排出的废液的废液罐、保持被涂布部件的保持装置、以及使涂布器和保持装置相对移动的移动装置的涂布装置，使涂布器相对于被涂布部件边移动边供给涂布液而在其表面上形成涂膜，在形成涂膜前及/或形成后，边从液体供给装置供给液体，边打开上述开闭阀从排出口排出涂布液和气体。

主权项

1.一种涂布方法，该涂布方法，利用具备向涂布器供给涂布液的液体供给装置、具有将涂布液吐出的吐出口以及将气体与涂布液一起排出的气体排出口的涂布器、与气体排出口连接且位于与气体排出口大体相同的高度或比气体排出口低的位置且在途中具有开闭阀而成的气体排出路径、贮存从气体排出路径的出口排出的废液的废液罐、保持被涂布部件的保持装置、以及使涂布器和保持装置相对地移动的移动装置的涂布装置，一边从吐出口向被涂布部件供给涂布液，一边使涂布器和被涂布部件相对地移动而在被涂布部件的表面上形成涂膜，其特征在于：在在被涂布部件的表面上形成涂膜前、及/或形成后，一边从液体供给装置供给液体，一边打开气体排出路径的开闭阀从气体排出口排出涂布液和气体。