[发明专利]曝光装置及曝光方法有效
| 申请号： | 200710091393.1 | 申请日： | 2007-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101063825A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 佐藤仁;中泽朗 | 申请（专利权）人： | 株式会社ORC制作所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供曝光装置和曝光方法。该曝光装置可将带子(6)的中央区域(17)与侧边区域(19)固定在曝光台(2)上。上述曝光装置每次将两侧形成有穿孔(20)的薄膜状的带子(6)的一块(21)输送至曝光台(2)，同时在曝光台(2)上按照每一块(21)对带子(6)进行曝光，曝光台(2)具有：设有中央吸引口(13)的中央部(22)，该中央吸引口作用第一吸气力吸引以穿孔(20)为边界而配置于内侧的带子(6)的中央区域(17)，吸引并吸附中央区域(17)；设有侧边吸引口(3)的侧边部(23)，该侧边吸引口作用比第一吸气力大的第二吸气力吸引以穿孔(20)为边界而配置于外侧的带子(6)的侧边区域(19)，吸引并吸附侧边区域(19)。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置，该曝光装置将薄膜状的带子逐块地沿输送方向输送，同时在曝光台上按照所述每一块对所述带子进行曝光，其特征在于，所述曝光台包括：中央吸引口，其利用吸引所述带子的中央区域的第一吸引力作用，而吸引并吸附所述中央区域；以及侧边吸引口，其利用吸引所述带子的侧边区域的比所述第一吸引力强的第二吸引力作用，而吸引并吸附所述侧边区域。
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