[发明专利]用于存储器连接处理的飞击射束路径误差校正

摘要

本发明公开了一种用于存储器连接处理的飞击射束路径误差校正的系统和/或方法。激光射束定位器(图12，340，236，260，262，302，304，310，312，316，318，320，322，324，326，328，330，336，342)使用一种操作镜，其执行激光射束的小角度反射，以补偿定位器平台的交叉轴的定位误差。在一个实施例中，优选一种两轴操作境，仅用于误差校正，而不需要以定位器平台的位置命令来协调。在半导体连接处理(“SLP”)的应用中，一种使用弯曲机构以及压电驱动装置来倾倒以及倾斜该镜子的快速操作镜足优选的。本发明补偿交叉轴的定位时间，致使SLP系统的产量以及精度增加，同时由于该操作镜的校正会宽松化定位器平台的伺服驱动需求，因而简化了定位器平台的复杂度。

主权项

1.一种用于增加激光系统处理能力的方法，所述激光系统用于处理基片上的电路连接，所述电路连接被安排在至少第一和第二平行行中，所述方法包括：生成激光输出以沿贯穿所述基片的激光射束轴传播；沿第一行进轴产生所述激光射束轴与所述基片之间的相对移动，所述第一行进轴与所述第一行电路连接平行；在沿所述第一行进轴的第一飞击通过期间，利用激光输出处理所述第一行中的至少第一电路连接；和对所述激光射束轴产生偏移，所述偏移处于横向于所述行进轴的方向，以在所述第一飞击通过期间，利用激光输出处理所述第二行中的至少第二电路连接。