[发明专利]软磁性靶材无效
| 申请号： | 200710091791.3 | 申请日： | 2007-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN101054658A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 柳谷彰彦;相川芳和 | 申请（专利权）人： | 山阳特殊制钢株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;G11B5/68 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 公开一种不使磁特性劣化，并使耐气候性提高的软磁性靶材。第一方式的软磁性靶材，由Fe∶Co的原子比为100∶0～20∶80的Fe－Co系合金构成，所述合金还含有0.2～5原子％的Al或Cr的1种或2种。另外，本发明的第二方式的软磁性靶材，由Fe∶Ni的原子比为100∶0～20∶80的Fe－Ni系合金构成，所述合金还含有0.2～5原子％的Al或Cr的1种或2种。在第一及第二方式的软磁性靶材中，上述合金能够含有30原子％以下的从B、Nb、Zr、Ta、Hf、Ti及V所构成的群中选择的1种或2种以上。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 | ||
【主权项】：
1.一种软磁性靶材，其由Fe∶Co的原子比为100∶0～20∶80的Fe-Co系合金构成，其中，所述合金还含有0.2～5原子％的Al或Cr的1种或2种。
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