[发明专利]静电放电保护装置及其制造方法

摘要

一种静电放电保护装置及其制造方法。此静电放电保护装置包括衬底、N型阱、P型掺杂区、第一与第二N+型掺杂区、第一与第二P+型掺杂区、栅极、第一与第二电极。N型阱配置于衬底中。P型掺杂区配置于N型阱中。第一N+型掺杂区与第一P+型掺杂区均配置于P型掺杂区中。第二N+型掺杂区与第二P+型掺杂区均配置于N型阱中以及P型掺杂区外，且与P型掺杂区不相接触。栅极配置于N型阱上以及于第二P+型掺杂区与P型掺杂区之间。第一电极电连接第一N+型掺杂区与第一P+型掺杂区。第二电极电连接第二N+型掺杂区、第二P+型掺杂区与栅极。

主权项

1. 一种静电放电保护装置，包括：一衬底；一N型阱，配置于该衬底中；一P型掺杂区，配置于该N型阱中；一第一N+型掺杂区，配置于该P型掺杂区中；一第一P+型掺杂区，配置于该P型掺杂区中；一第二P+型掺杂区，配置于该N型阱中以及该P型掺杂区外，其中该第二P+型掺杂区与该P型掺杂区不相接触；一栅极，其配置于该N型阱上以及于该第二P+型掺杂区与该P型掺杂区之间；一第一电极，其经由一第一电性导体连接该第一N+型掺杂区与该第一P+型掺杂区；以及一第二电极，其经由一第二电性导体连接该第二P+型掺杂区与该栅极。