[发明专利]去除液体中微气泡/微粒的方法、液体供应装置及其应用有效
| 申请号： | 200710092047.5 | 申请日： | 2007-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN101281375A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 杨进盛;简文胜 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陈小雯;李晓舒 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种移除微气泡/微粒的液体供应装置，包括一管路、一激光产生器及至少一微气泡/微粒出口。激光产生器提供激光于该管路的通路上，其提供激光的方式可使一微气泡/微粒阻挡/排斥墙形成，以阻挡与/或排斥管路的液体中的微气泡与/或微粒。微气泡/微粒出口与该管路连通，位于微气泡/微粒阻挡/排斥墙与液体入口之间，且紧邻微气泡/微粒阻挡/排斥墙，用以导出微气泡与/或微粒。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 液体 气泡 微粒 方法 供应 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
1. 一种移除微气泡/微粒的液体供应装置，包括：一管路，包括一液体入口与一液体出口；一激光产生器，用以提供激光于该管路的通路上，该激光的提供方式可使一微气泡/微粒阻挡/排斥墙形成，以阻挡与/或排斥该管路中的多数个微气泡与/或微粒；以及至少一微气泡/微粒出口，与该管路连通，位于该微气泡/微粒阻挡/排斥墙与该液体入口之间，且紧邻该微气泡/微粒阻挡/排斥墙，以导出该些微气泡与/或微粒。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于联华电子股份有限公司，未经联华电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710092047.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
