[发明专利]微机械调制装置,微机械调制装置阵列，成像设备和设计微机械调制装置的方法无效
| 申请号： | 200710092100.1 | 申请日： | 2007-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN101051115A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 荻洼真也;木村宏一;望月文彦;中村博亲 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种微机电调制装置，包括多个于此定义的可移动部分，以及多个于此定义的驱动部分，其中设置于此定义的动态拉入电压小于于此定义的保持电压，并且驱动部分通过驱动电压来驱动可移动部分，所述驱动电压大于或等于保持电压，其值小于或等于10V。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 调制 装置 阵列 成像 设备 设计 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电调制装置，包括：多个可移动部分，每个都支持在固定基板上，可弹性移位，并且适于双向旋转移位，每个可移动部分都具有调制功能；多个驱动部分，每个都适于在向其施加电压时施加物理作用力到可移动部分；其中，通过驱动部分施加的物理作用力，可移动部分能够在沿第一方向旋转移位后达到第一停止位置，在该位置，可移动部分接触并停止在固定基板一侧；并且可移动部分能够在沿不同于第一方向的第二方向旋转移位后达到第二停止位置，在该位置，可移动部分接触并停止在固定基板一侧；其中，设置动态拉入电压低于保持电压，驱动部分通过大于或等于保持电压的驱动电压，驱动可移动部分，并且所述驱动电压小于或等于10V，其中，保持电压是能够使可移动部分的状态原样保持在每个第一和第二停止位置的电压，动态拉入电压是能够在过渡时间内，将可移动部分从不在每个第一和第二停止位置的状态拉入到每个第一和第二停止位置的状态的电压。
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