[发明专利]光刻导轨设备中分立式热板系统无效
| 申请号： | 200710094134.4 | 申请日： | 2007-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101408738A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 王雷;黄玮 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/40;G03F7/26 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻导轨设备中分立式热板系统。和现有的普通单一热板不同，本发明由许多分立的可以单独控制温度的热板组合形成。因为光刻工艺的表现和热板温度有直接联系，通过分立式热板对硅片不同区域分别加热，局部控温精度更好而且整体分布可控。使用了本发明的分立式热板系统后，可以大大提高光刻工艺中涂胶、显影工艺的硅片面内均一性，尤其对于越大尺寸的硅片效果越明显。同时通过分立式热板系统可以分区域控温，通过加热冷却来升高或降低热板温度以影响光刻工艺的特性，可以通过在光刻工艺中引入温度分布来降低前工程(如薄膜成长，化学机械抛光等)引入的硅片不均匀导致的光刻工艺窗口缩小，从而增加了光刻工艺窗口。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 导轨 设备 中分 立式 系统 | ||
【主权项】：
1、一种光刻导轨设备中分立式热板系统，其特征在于，该分立式热板系统由数个各自能被加热或冷却的分立的热板组成。
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