[发明专利]三极晶体管及基准电压源形成方法无效
申请号: | 200710094479.X | 申请日: | 2007-12-13 |
公开(公告)号: | CN101459077A | 公开(公告)日: | 2009-06-17 |
发明(设计)人: | 杨勇胜 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/331 | 分类号: | H01L21/331;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/36 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李 丽 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种三极晶体管的形成方法,包括:根据公式(1)NA·JC=exp(Vbe/Vt)·(q·Dn/WB)·D·T3·exp(-VGO/Vt),获得发射极电压温度系数公式(2)为:δVbe/δT(T=T0)=(Vbe0-VGO)/T0+(α-γ)·(k/q);根据所需的三极晶体管的发射极电压温度系数选取基区掺杂浓度NA。本发明还提供一种基准电压源的形成方法。本发明通过调整三极晶体管的基区掺杂浓度,调整三极晶体管发射极电压的温度系数,从而调整基准电压源的输出电压,使基准电压源输出电压近似为零。 | ||
搜索关键词: | 三极 晶体管 基准 电压 形成 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种三极晶体管的形成方法,其特征在于,包括:根据公式(1)NA·JC=exp(Vbe/Vt)·(q·Dn/WB)·D·T3·exp(-VGO/Vt),获得发射极电压温度系数公式(2)为:δVbe/δT(T=T0)=(Vbe0-VGO)/T0+(α-γ)·(k/q);根据所需的三极晶体管的发射极电压温度系数选取基区掺杂浓度NA,其中,所述公式(1)或者公式(2)中NA为基区掺杂浓度;JC为发射区电流密度;Vbe发射极电压,Vbe0为在T=T0下的发射极电压;q为电荷的电量;Dn为电荷扩散系数;WB为基区的宽度;D为温度常数;T为绝对温度;VG0为半导体衬底的能带带隙电压;Vt为KT/q,所述k为波尔兹曼常数;γ为与温度无关的常量;根据基区掺杂浓度NA对基区掺杂。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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