[发明专利]三极晶体管及基准电压源形成方法无效

专利信息
申请号: 200710094479.X 申请日: 2007-12-13
公开(公告)号: CN101459077A 公开(公告)日: 2009-06-17
发明(设计)人: 杨勇胜 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L21/331 分类号: H01L21/331;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/36
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 李 丽
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种三极晶体管的形成方法,包括:根据公式(1)NA·JC=exp(Vbe/Vt)·(q·Dn/WB)·D·T3·exp(-VGO/Vt),获得发射极电压温度系数公式(2)为:δVbe/δT(T=T0)=(Vbe0-VGO)/T0+(α-γ)·(k/q);根据所需的三极晶体管的发射极电压温度系数选取基区掺杂浓度NA。本发明还提供一种基准电压源的形成方法。本发明通过调整三极晶体管的基区掺杂浓度,调整三极晶体管发射极电压的温度系数,从而调整基准电压源的输出电压,使基准电压源输出电压近似为零。
搜索关键词: 三极 晶体管 基准 电压 形成 方法
【主权项】:
1. 一种三极晶体管的形成方法,其特征在于,包括:根据公式(1)NA·JC=exp(Vbe/Vt)·(q·Dn/WB)·D·T3·exp(-VGO/Vt),获得发射极电压温度系数公式(2)为:δVbe/δT(T=T0)=(Vbe0-VGO)/T0+(α-γ)·(k/q);根据所需的三极晶体管的发射极电压温度系数选取基区掺杂浓度NA,其中,所述公式(1)或者公式(2)中NA为基区掺杂浓度;JC为发射区电流密度;Vbe发射极电压,Vbe0为在T=T0下的发射极电压;q为电荷的电量;Dn为电荷扩散系数;WB为基区的宽度;D为温度常数;T为绝对温度;VG0为半导体衬底的能带带隙电压;Vt为KT/q,所述k为波尔兹曼常数;γ为与温度无关的常量;根据基区掺杂浓度NA对基区掺杂。
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