[发明专利]电子器械元件及其制造方法、以及共振器及其制造方法有效
| 申请号： | 200710096509.0 | 申请日： | 2007-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN101054157A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 多田正裕;御手洗俊;盛田伸也 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00;H03H9/10;H03H9/05;B81C1/00;H03H3/007 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子器械元件，其谋求封壳密封的电子器械元件的高可靠性。其特征在于，具有包含有下部电极(62)、(63)及可动件(35)的电子器械元件主体(64)、以及保持空间(37)而密封电子器械元件主体(64)的外敷膜(38)，在外敷膜(38)与可动件(35)之间设有支柱(52)。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 器械 元件 及其 制造 方法 以及 共振器 | ||
【主权项】：
1.一种电子器械元件，其特征在于，具有：包含有下部电极及可动件的电子器械元件主体、以及保持空间而密封所述电子器械元件主体的外敷膜，在所述外敷膜与所述可动件之间设有支柱。
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