[发明专利]线路基板的导电盲孔的制作方法有效
申请号: | 200710097182.9 | 申请日: | 2007-04-11 |
公开(公告)号: | CN101287338A | 公开(公告)日: | 2008-10-15 |
发明(设计)人: | 王德峻 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H05K3/42 | 分类号: | H05K3/42 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 台湾省高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种线路基板的导电盲孔的制作方法,其包括下列步骤:首先,提供一线路基板,此线路基板包括一第一介电层、一图案化线路层及一第二介电层,此图案化线路层是夹置于第一介电层与第二介电层之间,且其包括至少一捕捉垫。接着,在第二介电层中形成一盲孔,其中盲孔暴露出捕捉垫。之后,进行一无电镀铜制程,以在盲孔的一内壁及捕捉垫上形成一无电镀铜层。接下来,移除位于捕捉垫上的无电镀铜层。最后,在盲孔中填入一导电材料,以形成一导电盲孔。 | ||
搜索关键词: | 线路 导电 制作方法 | ||
【主权项】:
1. 一种线路基板的导电盲孔的制作方法,包括下列步骤:步骤(a)是提供一线路基板,所述线路基板包括一第一介电层、一图案化线路层及一第二介电层,所述图案化线路层夹置于所述第一介电层与所述第二介电层之间,且所述图案化线路层中包括至少一捕捉垫;步骤(b)是在所述第二介电层中形成一盲孔,其中所述盲孔暴露出所述捕捉垫;以及步骤(c)是进行一无电镀铜制程,以在所述盲孔的一内壁及所述捕捉垫上形成一无电镀铜层;其特征在于:所述线路基板的导电盲孔的制作方法还包括有下列步骤(d)及(e),其中步骤(d)是移除位于所述捕捉垫上的所述无电镀铜层;以及步骤(e)是于所述盲孔中填入一导电材料,以形成一导电盲孔。
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