[发明专利]薄膜特性测量装置无效
| 申请号： | 200710097385.8 | 申请日： | 2007-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101071060A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 大日方祐彦;佐佐木尚史 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/00;G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈源;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种薄膜特性测量装置，其包括：测量单元，用于测量筒形薄膜圆周方向上的取向度和取向角；和轮廓生成部分，用于根据来自测量单元的信号，至少生成筒形薄膜的取向轮廓或厚度轮廓之一。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 特性 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜特性测量装置，包括：测量单元，用来测量筒形薄膜圆周方向上的取向度和取向角；和轮廓生成部分，用来根据来自所述测量单元的信号至少生成筒形薄膜的取向轮廓或厚度轮廓之一。
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