[发明专利]平面显示器及其制作方法

摘要

本发明平面显示器的制作方法先进行第一结晶工艺而再结晶非晶硅层，再形成图案化吸收层覆盖住驱动薄膜晶体管的有源区，并暴露出部分多晶硅层。进行第二结晶工艺以再结晶暴露的多晶硅层，使暴露的多晶硅层与被覆盖部分具有不同晶粒结构，并利用不同晶粒结构的多晶硅层分别形成驱动薄膜晶体管与开关薄膜晶体管的有源区。

主权项

1、一种制作平面显示器的方法，该平面显示器包含有多个次像素，该方法包含有：提供基底；于该基底上形成非晶硅层；对该非晶硅层进行第一结晶工艺，使得该非晶硅层形成多晶硅层；形成图案化的吸收层，覆盖各该次像素的驱动薄膜晶体管的有源区域图案，并暴露出部分该多晶硅层；对部分暴露的该多晶硅层进行第二结晶工艺，使得该多晶硅层的该部分暴露的晶粒结构不同于该等驱动薄膜晶体管中被该等有源区域图案所覆盖的有源区域的晶粒结构；移除该图案化的吸收层；以及移除部分该多晶硅层，以形成各该驱动薄膜晶体管的该有源区域，同时于该多晶硅层的该暴露部分形成各该次像素的开关薄膜晶体管的有源区域；其中各该有源区域包含有沟道区、源极区以及漏极区。